Aktuelle Publikation
Piezoelectric AIN-biomorph benders as low-frequent, resonant microactuators with large travel range
S. Hampl1,2.
M. Hoffmann2.
Mikrosystemtechnik Kongress, Aachen, 2013, S. 480-483, ISBN 978-3-8007-3555-6
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2Technische Universität Ilmenau, Fachgebiet Mikromechanische Systeme.
Fachartikel