Aktuelle Publikation
Planar Magnetic Drives and Bearings for Multi-Axis Nanopositioning Machines with Large Travel Ranges.
T. Sattel1.
R. Volkert1.
S. Hesse2.
Dr. Ch. Schäffel2.
Actuator 2010, 14.06.-16.06.2010, Bremen
1Mechatronics Group, Department of Mechanical Engineering, Ilmenau University of Technology Ilmenau.
2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
Vortrag