Challenges of Building AI-Based Virtual Temperature Sensors for Nanopositioning Systems (NPS)

Amin Suaad¹, Silvia Krug^1,2, Tino Hutschenreuther¹

2026 IEEE Symposium on Artificial Intelligence for Instrumentation and Measurement (AI4IM), 21.05.2026 – 23.05.2026, Amalfi, Italy, pp. 1-6, DOI: doi.org/10.1109/AI4IM69129.2026.11558222

¹IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, ²Mid Sweden University, Department of Computer and Electrical Engineering, Holmgatan 10, 851 70 Sundsvall, Sweden

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Intelligente vernetzte Mess- und Testsysteme Begutachtete Veröffentlichung

Zugehörige Inhalte

Symbolbild mit Teilen eines Präzisionsantriebs, einen Modell einer Magnetspule, deren Daten in eine als Chip mit Hirnstrukturen verbildlichte KI gehen bzw. aus ihr erzeugt werden.

Projekt

VirtuSen

Mithilfe virtueller Sensorik und KI sollen Störeinflüsse auf komplexe mechatronische Systeme wie Hochpräzisionsantriebe ortsaufgelöst erfasst und kompensiert werden können

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