Aktuelle Publikation
Hybrid Characterization and Reconstruction of Transient Thermal Fields in 6-DOF Nanopositioning Systems
Parastoo Salimitari1, Ina Naujokat1, Ahmed Rahat1, Amin Suaad1, Ludwig Herzog1, Tino Hutschenreuther1
2026 PI Symposium on Mechatronics System Design, , Karlsruhe, Germany
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany