IMMS - 6D Planar Magnetic Levitation System

6D Planar Magnetic Levitation System – Mag6D

Christoph Schäffel¹. Michael Katzschmann¹. Hans-Ulrich Mohr¹. Rainer Gloess². Christian Rudolf². Christopher Mock². Carolin Walenda².

14th International Symposium on Magnetic Bearings, Linz, Austria, www.magneticbearings.org/publications/

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. ²Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, D-76228 Karlsruhe, Germany.

Begutachtete Veröffentlichung

Zugehörige Inhalte

Projekt

Mag6D

Das im Projekt entwickelte neuartige planare Antriebssystem ist magnetisch geführt und bewegt Objekte auf den Nanometer genau.

Auszeichnung

Nominierung für den Innovationspreis Thüringen 2012 in der Kategorie INDUSTRIE & MATERIAL: Planarer magnetischer 6D-Direktantrieb für Nanometer-Positionierung

IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH Ilmenau

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