6D Magnetic Levitation Positioning System with Compact Integrated 6D Sensor

C. Rudolf¹. C. Mock¹. C. Walenda¹. R. Glöss¹. R. Liang¹. C. Schäffel². M. Katzschmann². H.-U. Mohr².

12th EUSPEN International Conference, 2012, in Proceedings P7.04 Vol II, ISBN 978-0-9566790-0-0

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. ²Physik instrumente Karlsruhe Germany.

Fachartikel

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Projekt

Das im Projekt entwickelte neuartige planare Antriebssystem ist magnetisch geführt und bewegt Objekte auf den Nanometer genau.