IMMS für den Innovationspreis Thüringen 2012 nominiert

Ilmenau, 27.11.2012. Das IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH wurde mit dem »Mag6D« für den Innovationspreis Thüringen 2012 nominiert. Damit schaffte das Institut den Sprung unter die besten drei Bewerber der Kategorie »Industrie und Material«. Mag6D ist ein vollständig magnetisch geführtes Positioniersystem, um eine Last präzise in sechs Koordinaten zu bewegen. Den Prototyp hat das IMMS mit der Firma Physik Instrumente (PI) aus Karlsruhe und der Technischen Universität Ilmenau entwickelt. Die Forscher nutzen hierfür das Prinzip der Magnetschwebebahn. Sie haben die Basistechnologie entwickelt, mit der die Industrie künftig in molekularem Maßstab im Vakuum fertigen kann. Das ist beispielsweise für die Herstellung von Mikrochips notwendig oder für Prozesse der Materialforschung und Oberflächenmesstechnik sowie im Life-Science- und Biotech-Sektor.

In einem Fahrbereich von 100 x 100 x 0,15 mm³ bewegt sich der Läufer des Mag6D in sechs Koordinaten – den drei Raumachsen und der jeweiligen Rotation um diese Achsen. Die Plattform schwebt dabei allein auf einem magnetischen Feld, das Antrieb und Führung für alle Achsen übernimmt und durch nur 6 planare Motorspulen erzeugt wird. Der Läufer hat somit keinerlei Zuleitungen und arbeitet vollkommen kontaktlos. So kann das System nahezu ohne Partikelgeneration in hochreinen Umgebungen betrieben werden. Die aktive Führung arbeitet äußerst präzise. Von einer Idealebene weichen die Bewegungen der Plattform um maximal 10 Nanometer ab.

Ein neuartiger Sensorkopf besteht aus optischen und kapazitiven Sensorelementen und erfasst die Position des Läufers in allen 6 Freiheitsgraden. Im Gegensatz zu bekannten Lösungen, die beispielsweise auf einem laserinterferometrischen Prinzip beruhen und Positionsdaten aus drei um den Läufer verteilten Lasersensoren gewinnen, ist der Sensorkopf des Mag6D deutlich kompakter und in den Stator integriert.

"Das IMMS lieferte wesentliche Impulse zum Projekt." so Steffen Arnold, Leiter Markt und Produkte bei Physik Instrumente (PI) aus Karlsruhe. "Aufgrund seiner einzigartigen Expertise im Bereich der magnetisch geführten Antriebstechnologie ist es der ideale Partner für den Mag6D. Wir freuen uns auf weitere gemeinsame Entwicklungen auf diesem Gebiet!"