IMMS - Determination of yaw angle of mirror origin in a 6-DOF nanopositioning stage

Aktuelle Publikation

Determination of yaw angle of mirror origin in a 6-DOF nanopositioning stage

Davi Anders Brasil¹. Michael Katzschmann¹. Steffen Hesse¹. Ludwig Herzog¹. Thomas Kissinger². Thomas Fröhlich².

International Scientific Symposium on World Interferometry Day 2026, 20. April 2026, Ilmenau, Germany

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. ²Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Germany.

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Vortrag und Posterpräsentation

Zugehörige Inhalte

Nahaufnahme des Quarzglas-Läufers mit einem Hubmodul aus Metall, Magnetbrücken und Laserinterferometer .

Projekt

NanoFab

Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.

Auszeichnung

iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”

Alex S. Huaman

Auszeichnung

Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

Alex S. Huaman

Forschung

Impressum/Disclaimer

Datenschutzerklärung

Suche

Home

Leitanwendungen

Karriere

Social Media

Dienstleistungen

Über uns