551. Nanopositioning and nanomeasuring technology - following the challenges of nanofabrication   E. Manske, T. Hausotte R. Füßl T. Fröhlich M. Hofmann I. Rangelow J. Reger C. Schäffel S. Sinzinger R. Theska 11th Seminar on Quantitative Microscopy (QM) and 7th Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods, Dimensional and related measurements in the micro- and nanometre range, March 9 - 11, 2016, Wroclaw, Poland  

  552. Nanopositioning and fabrication using the Nano Fabrication Machine with a positioning range up to ⊘100 mm   Jaqueline Stauffenberg, Christoph Reuter Ingo Ortlepp Mathias Holz Denis Dontsov Christoph Schäffel Jens-Peter Zöllner Ivo Rangelow Steffen Strehle Eberhard Manske Proc. SPIE 11610, Novel Patterning Technologies 2021, 1161016 (22 February 2021); DOI: https://doi.org/10.1117/12.2583703  

  553. Nanopositioniertechnik für große Bewegungsbereiche   St. Hesse, Ch. Schäffel Fachzeitschrift 'Technisches Messen', Ausgabe 09/2006, S. 493-498  

  554. Nanopositioniersysteme großer Bewegungsbereiche   St. Hesse, C. Schäffel DFG Begutachtung, SFB 622 'Nanopositionier- und Nanomesssysteme', Teilprojekt A5, Forschungsziele 2009-2013, 11.02.-12.02.2009, Technische Universität Ilmenau  

  555. Nanopositioniersysteme großer Bewegungsbereiche   St. Hesse, C. Schäffel DFG Begutachtung, SFB 622 'Nanopositionier- und Nanomesssysteme', Teilprojekt A5, Forschungsergebnisse 2005-2009, 11.02.-12.02.2009, Technische Universität Ilmenau  

  556. Nanopositioniersysteme grosser Bewegungsbereiche   St. Hesse, Industriekolloquium des Sonderforschungsbereiches 'Nanopositionier- und Nanomessmaschinen', Proceedings S. 150-154, 08. Mai 2008, Ilmenau, Germany  

  557. Nanopositioniersysteme grosser Bewegungsbereiche   St. Hesse, Industriekolloquium des Sonderforschungsbereiches 'Nanopositionier- und Nanomessmaschinen', 08. Mai 2008, Ilmenau, Germany  

  558. Nanometergenaue Hubmodule für die Präzisionsantriebstechnik   Stephan Gorges, Konstruktion (2021) Nr. 11-12, Sonderteil Antriebstechnik, Seite 36 - 40, https://www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik/hubmodule-fuer-die-praezisionsantriebstechnik/  

  559. Nanofabrication and -metrology by using the nanofabrication machine (NFM-100)   Ingo Ortlepp, Jaqueline Stauffenberg Anja Krötschl Denis Dontsov Jens-Peter Zöllner Steffen Hesse Christoph Reuter, Steffen Strehle Thomas Fröhlich Ivo W. Rangelow Eberhard Manske In Novel Patterning Technologies 2022 (Vol. 12054, pp. 76-87). SPIE, DOI: https://doi.org/10.1117/12.2615118