¹Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, ²Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, ³SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, ⁴IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, ⁵nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany