Publications overview –K4PNP+Z
NPS6D200 – A Long Range Nanopositioning Stage with 6D Closed Loop Control
Steffen Hesse1, Alex S. Huaman1, Michael Katzschmann1, Bianca Leistritz1, Ludwig Herzog1Applied Sciences 2024, 14(16), 6972, DOI: doi.org/10.3390/app141669721IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyVertikale Nanopositionierung mit bis zu 25 mm Verfahrweg – Hubmodule für die hochgenaue Positionierung im Raum
Stephan Gorges1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1Konstruktion (2023), 07-08, Sonderteil Antriebstechnik, 2023, pp. 28-31, ISSN 0720-5953, https://e-paper.vdi-fachmedien.de/konstruktion1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany