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Vertikale Nanopositionierung mit bis zu 25 mm Verfahrweg – Hubmodule für die hochgenaue Positionierung im Raum
Stephan Gorges1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1
Konstruktion (2023), 07-08, Sonderteil Antriebstechnik, 2023, pp. 28-31, ISSN 0720-5953, https://e-paper.vdi-fachmedien.de/konstruktion
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
