Current Publication
Herausforderungen und Lösungsansätze bei der Entwicklung kraftgekoppelter Hochpräzisions-Vertikalantriebe
Ludwig Herzog1.
18. Jahrestagung „Feinwerktechnische Konstruktion“, 25. - 26. September 2025, Dresden, Germany
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.
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Project
NanoFab
IMMS has been working on solutions for a highly dynamic drive system for multi-axis manufacturing and processing of objects with nanometre precision in the Research Training Group 2182 ”NanoFab“.
Award
iENA silver medal for "Observer of atoms - Method for sub-nm precise control of coupled over-actuated positioning systems"
Alex S. Huaman
Award