IMMS - Ansätze zur Entwicklung durchgängiger Entwurfsstrategien für MEMS

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Ansätze zur Entwicklung durchgängiger Entwurfsstrategien für MEMS

Jacek Nowak¹. Jenny Klaus². Dominik Karolewski². Ralf Sommer^1,2.

edaWorkshop 14, Hannover, 13.-14. Mai 2014, Tagungsband, VDE-Verlag, ISBN: 978-3-8007-3620-1

¹Technische Universität Ilmenau, Ilmenau. ²Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

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MUSIK

IMMS has investigated, modelled and validated MEMS characteristics to develop basic blocks for a universally applicable method for MEMS design.

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MEMS2015

The IMMS tool automatically generates mechanical designs. MEMS can be simulated and verified as an entire system.

Award

Best Paper Award Runner-Up für den Beitrag: Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor

Jenny Klaus

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