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Current Publication

6D Planar Magnetic Levitation System – Mag6D

Christoph Schäffel1, Michael Katzschmann1, Hans-Ulrich Mohr1, Rainer Gloess2, Christian Rudolf2, Christopher Mock2, Carolin Walenda2
in Proceedings of ISMB14, 14th International Symposium on Magnetic Bearings, , Linz, Austria, https://www.magneticbearings.org/publication/detail/ismb14_17/
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Physik Instrumente (PI) SE & Co. KG, Auf der Römerstraße 1, 76228 Karlsruhe, Germany

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Project

Mag6D

Within the project a novel planar drive system was developed which is magnetically guided and moves objects with nanometer precision.

Award

Nominierung für den Innovationspreis Thüringen 2012 in der Kategorie INDUSTRIE & MATERIAL: Planarer magnetischer 6D-Direktantrieb für Nanometer-Positionierung

IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH Ilmenau

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