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Strategische Weiterentwicklung des Instituts für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH
G. Scarbata1.F & E Report, Ilmenau, April 20021IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Stress Controlled Piezoeletric ALN-MEMS-Resonators with Molybdenum Electrodes for GHz Applications
H. Mehner1. K. Brueckner1. D. Karolewski2. S. Michael2. M. A. Hein1. M. Hoffmann1.23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop (MME), 2012, in Proceedings, Session C.06, online: www.tu-ilmenau.de/fileadmin/media/mme2012/Proceedings/Session_C/C06_1642_MME2012_120622.pdf1Institute of Micro- and Nanotechnologies MacroNano®, University of Technology Ilmenau, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article PRIMOS -
Stress Identification of Thin Membrane Structures by Dynamic Measuarments. Aix-en-Provence
S. Michael1. C. Schäffel1. S. Voigt2. R. Knechtel3.France: Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP). S. 106-109. ISBN: 978-2-35500-013-31IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Chemnitz. 3X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt.Article -
Stressidentifikation dünner Membranstrukturen mittels dynamischer Messungen
S. Michael1. S. Voigt2. Dr. R. Knechtel3.10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 20.10.-21.10.2010, Chemnitz1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Chemnitz, Professur Mikrosystem- und Gerätetechnik, Chemnitz. 3X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt.Article -
Strukturauswahl von Positioniersystemen durch Betrachtung der Funktionstopologie
T. Erbe1. R. Theska1. A. Frank2. F. Spiller2.VDI / VDE - Tagung 'Mechatronik 2009', 12. - 13. Mai 2009, Wiesloch1TU Ilmenau. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Suitability of Radio Communication Technologies for Smart Orchards Considering Seasonal Effects
Silvia Krug1,2. Falk Eisenreich1. Tino Hutschenreuther1.2025 IEEE International Workshop on Metrology for Agriculture and Forestry (MetroAgriFor), October 28-30, 2025, Bologna, Italy1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Mid Sweden University, Sundsvall, Sweden. -
Superconducting Photosensitive Interface for Triggering RSFQ Circuits
P. Febvre. H. Töpfer1. Th. Ortlepp. B. Ebert. S. Badi. F. H. Uhlmann.IEEE Transactions on Applied Superconductivity, Vol. 17, No. 2, page 530-533, June 20071IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
Superconducting photosensitive interfaces for triggering RSFQ circuits
P. Febvre. H. Töpfer1. Th. Ortlepp. B. Ebert. S. Badi. F. H. Uhlmann.26.08. - 01.09.2006,2006 Applied Superconductivity Conference, Seattle, USA1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Poster presentation -
Superconductive Digital Magnetometers with Single-Flux-Quantum Electronics
P. Febvre1. Dr. T. Reich2.IEICE TRANSACTIONS on Electronics, Vol.E93-C, No.4, pp.445-452. Tokyo, Japan: Maruzen Co., Ltd1IMEP-LAHC, UMR CNRS 5130, University of Savoie, Le Bourget du Lac Cedex, France. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
Superresolution measurement and simulation of mobile vector radio channels
U. Trautwein1. D. Hampicke. G. Sommerkorn. R. S. Thomä. A. Richter2.ISAP 2000, August 2000, Fukuoka, Japan1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Talk