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Planar Magnetic 6D Levitating system with Compact Sensor
Christoph Schäffel1. Michael Katzschmann1. Hans-Ulrich Mohr1. Rainer Glöß2. Christian Rudolf2. Christopher Mock2. Carolin Walenda2. R. Liang2.27th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2012, San Diego, USA, 21.10.2012-26.10.20121IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.Talk -
Planar Magnetic 6D Levitating system with Compact Sensor
Christoph Schäffel1. Michael Katzschmann1. Hans-Ulrich Mohr1. Rainer Glöß2. Christian Rudolf2. Christopher Mock2. Carolin Walenda2. R. Liang2.27th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2012, in Proceedings, ISBN 978-1-887706-61-2, p. 99-1021IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.Article Mag6D -
Planar Magnetic 6D Levitating System with Compact Sensor
Christoph Schäffel1. Michael Katzschmann1. Hans-Ulrich Mohr1. Rainer Glöß2. Christopher Mock2. Christian Rudolf2. Carolin Walenda2.6. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion', Dresden, 08.11.20121IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.Talk -
Planar Magnetic Drives and Bearings for Multi-Axis Nanopositioning Machines with Large Travel Ranges.
T. Sattel1. R. Volkert1. S. Hesse2. Dr. Ch. Schäffel2.Actuator 2010, 14.06.-16.06.2010, Bremen1Mechatronics Group, Department of Mechanical Engineering, Ilmenau University of Technology Ilmenau. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Planar Motion System for a Nanopositioning- and Nanomeasuring Machine (NPMM, NMM) with 200x200m² operating range
St. Hesse1. H. -U. Mohr1. Ch. Schäffel1.4th EUSPEN International Conference and 6th Annual General Meeting, Glasgow, 30.05-03.06.20041IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Poster presentation -
Planar Motion Systems and Magnetic Bearings
Ch. Schäffel1.4th Polish-German Mechatronic Workshop 2003, Suhl, Juni 20031IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Planar motor concept for positioning with nanometer position uncertainty
St. Hesse1. C. Schäffel1. M. Katzschmann1. T. Maass1. H. -U. Mohr1.8th International Conference euspen 2008, 18.-22. Mai 2008, Zurich, Switzerland1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
Planar motor concept for positioning with nanometer position uncertainty
St. Hesse1. C. Schäffel1. M. Katzschmann1. T. Maass1. H. -U. Mohr1.8th International Conference euspen 2008, 18.-22. Mai 2008, Zurich, Switzerland1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. -
Planar Multi-Coordinate Drives
E. Saffert2. Ch. Schäffel1. E. Kallenbach2.PCIM, Nürnberg, Mai 19981IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Talk -
Planare Direktantriebe für Hochleistungsmaschinen
Ch. Schäffel1. M. Katzschmann1. St. Michael1. S. Pause2.F&M Feinwerktechnik-Mikrotechnik-Mikroelektronik, 2000, S. 61IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2LLT Applikation GmbH, Ilmenau.Article