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Nanofabrication and -metrology by using the nanofabrication machine (NFM-100)
Ingo Ortlepp1,2, Jaqueline Stauffenberg1, Anja Krötschl2, Denis Dontsov3, Jens-Peter Zöllner4, Steffen Hesse5, Christoph Reuter2, Steffen Strehle2, Thomas Fröhlich1, Ivo W. Rangelow6, Eberhard Manske1Proc. SPIE 12054, Novel Patterning Technologies 2022, 120540A (25 May 2022), DOI: doi.org/10.1117/12.26151181Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 4Technische Universität Ilmenau, Department of Electrical Engineering and Information Technology, Institute for Micro- and Nanoelectronics, Micro- and Nanoelectronic Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 5IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 6Technische Universität Ilmenau, Department of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Nanoscale Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany -
Nachrüstbares Monitoring – Defekte Straßenlampen clever ausfindig machen
Sören Schneider1, Marco Götze1, Silvia Krug1, Kathrin Veigel2in elektroniknet.de, , https://www.elektroniknet.de1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2elektroniknet.de, Redaktion -
Multiphysics Modeling of BAW Filters
A. Tag, Vikrant Chauhan1, Robert Weigel1, Amelie Hagelauer1, B. Bader2, C. Huck2, M. Pitschi2, Dominik Karolewski32015 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), , Taipei, Taiwan, pp. 1-4, DOI: dx.doi.org/10.1109/ULTSYM.2015.01151Friedrich Alexander University Erlangen-Nuremberg, Institute for Electronics Engineering, Cauerstr. 7, 91058 Erlangen, Germany, 2TDK Corporation, Advanced Development, Anzingerstr. 13, 81617 Munich, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Multi-Sensor Systems in Industrie 4.0 Applications, RoMulus – Robuste Multisensorik zur Zustandsüberwachung in Industrie-4.0-Anwendungen
Johannes Eisenmenger1, Sylvo Jäger2, Volker Boos3, Eric Markweg4, A. Frotzscher5, Ralf Sommer6, Gerold Schröpfer7edaWorkshop 2017, , Dresden1Carl Zeiss SMT GmbH, Rudolf-Eber-Straße 2, 73447 Oberkochen, Germany, 2Micro-Sensys GmbH, Office Park im GVZ, In der Hochstedter Ecke 2, 99098 Erfurt, Germany, 3X-FAB Semiconductor Foundries AG, Haarbergstraße 67, 99097 Erfurt, Germany, 4TETRA Gesellschaft für Sensorik, Robotik und Automation mbH, 98693 Ilmenau, Germany, 5Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS, Institutsteil Entwicklung Adaptiver Systeme EAS, Münchner Straße 16, 1187 Dresden, Germany, 6IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 7Conventor -
Multi-coordinate Drive Systems - Opportunities and Limits
Ch. Schäffel1. E. Saffert2. E. Kallenbach2.int. Heinz Nixdorf, Symposium: On Mechatronics and Advanced Motion Control, Paderborn, Mai 19991IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Talk -
MSP/AVR-basierte HW/SW-Plattformen für Drahtlose Sensornetzwerke
S. Engelhardt1. E. Chervakova1. W. Kattanek1. T. Rossbach1.10. Workshop Mikrocontroller-Applikationen/Eingebettete Systeme, Hochschule Mittweida, 14. Mai 2009, Mittweida1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
MSP/AVR-basierte HW/SW-Plattformen für Drahtlose Sensornetzwerke
S. Engelhardt1. E. Chervakova1. W. Kattanek1. T. Rossbach1.10. Workshop Mikrocontroller-Applikationen/Eingebettete Systeme, Hochschule Mittweida, 14. Mai 2009, Mittweida1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
Monolithic Integrated CMOS Ambient Light Sensor
Michael Meister1, Ulrich Liebold1, André Jäger1, Sebastian Thiele2, R. Weirauch2, Konrad Bach2In Olfa Kanoun, Nabil Derbel, Faouzi Derbel (Eds.), Sensors, Circuits & Instrumentation Systems: Extended Papers 2017, 2018, pp. 217–226, ISBN 9783110448375, De Gruyter Oldenbourg, Berlin, Boston, DOI: doi.org/10.1515/9783110448375-0141IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2X-FAB Semiconductor Foundries AG, Haarbergstraße 67, 99097 Erfurt, Germany -
Monitoring biotic and abiotic factors in the observation of young trees in the forest by a multimodal sensor system
Christian Bräuer-Burchardt1, Martin Richter2, Tino Hutschenreuther3, Andreas Breitbarth1,2IMEKO PHOTOMET EDUMET 2026, , Klagenfurt, Austria1Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering, Albert-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany, 2Technical University of Ilmenau, Group Quality Assurance and Industrial Image Processing, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Möglichkeiten der rechentechnischen Umsetzung von Erkenntnissen aus der Konstruktionssystematik unter Nutzung der Featuretechnologie
F. Spiller1.Ilmenau, TU Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau, Diss. A, Verlag ISLE Ilmenau, ISBN 3-932633-20-2, Dezember 19981IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article