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Multi-Sensor Systems in Industrie 4.0 Applications, RoMulus – Robuste Multisensorik zur Zustandsüberwachung in Industrie-4.0-Anwendungen
Johannes Eisenmenger1, Sylvo Jäger2, Volker Boos3, Eric Markweg4, A. Frotzscher5, Ralf Sommer6, Gerold Schröpfer7
edaWorkshop 2017, , Dresden
1Carl Zeiss SMT GmbH, Rudolf-Eber-Straße 2, 73447 Oberkochen, Germany, 2Micro-Sensys GmbH, Office Park im GVZ, In der Hochstedter Ecke 2, 99098 Erfurt, Germany, 3X-FAB Semiconductor Foundries AG, Haarbergstraße 67, 99097 Erfurt, Germany, 4TETRA Gesellschaft für Sensorik, Robotik und Automation mbH, 98693 Ilmenau, Germany, 5Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS, Institutsteil Entwicklung Adaptiver Systeme EAS, Münchner Straße 16, 1187 Dresden, Germany, 6IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 7Conventor
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