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Optimierung industrieller Echtzeitanwendungen auf Basis von Open-Source-Technologien
S. Schramm1.4. Innovationsforum 'Software Saxony', 23.04.2010, Dresden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Optimierung der Bewässerung im Obstbau durch Sensorikeinsatz
Martin Penzel1, Silvia Krug2Regionalkonferenz EXPRESS, , Weingut Schloss Proschwitz, Meißen1Lehr- und Versuchszentrum Gartenbau Erfurt, Leipziger Str.75a, 99085 Erfurt, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Optical, mechanical and electro-optical design of an interferometric test station for massive parallel inspection of MEMS and MOEMS
K. Gastinger1. K. H. Haugholt1. M. Kujawinska2. M. Jozwik2. C. Schäffel3. S. Beer4.Paper 7389-56, SPIE Europe Optical Metrology, 14.- 18. Juni 2009, München1SINTEF, Norway. 2Warsaw Univ. of Technology, Poland. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 4Ctr. Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA, Switzerland.Article SMARTIEHS -
Optical, mechanical and electro-optical design of an interferometric test station for massive parallel inspection of MEMS and MOEMS
Dr. Ch. Schäffel1. S. Michael1. B. Leistritz1. M. Katzschmann1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. M. Jozwik3. S. Beer4.10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.2010-04.06.2010, Delft, Niederlanden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, Warsaw, Poland. 4CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA, Zurich, Schwitzerland.Article -
Optical detected magnetic resonance (ODMR) of ASi-Sii defects: case of acceptor indium
Kevin Lauer1,2, Bernd Hähnlein1, Mario Bähr1, Kai Kühnlenz1, Stefan Krischok2, Alexander Rolapp3, Christian Möller1, Thomas Ortlepp14th DRD3 week on Solid State Detectors R&D, , CERN, Zürich, Schweiz1CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Konrad-Zuse-Str. 14, 99099 Erfurt, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Physik, Weimarer Str. 32, 98693 Ilmenau, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Stephan Gorges1, Eberhard Manske2euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, , ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany -
Ontwikkeling van apparatuur vor materiaalonderzoek onder hoogvacuüm (Devices for the examination of materials and pairings of materials in standard atmosphere and ultra high vacuum
F. Spiller1. O. Mollenhauer2. M. Scherge.Constructeur, Verlag ten Hagen & Stam, Den Haag, 2001, 40. Jahrgang, ISSN 0010-66581IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TETRA GmbH.Article -
One-step autozeroing two-stage amplifier with floating-gate memory cells
D. Kirsten1. V. Schulze1. D. Nuernbergk1.DATE 2009, 20.-24. April 2009, Nizza, France1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Poster presentation -
On the Role of Wireless Sensor Networks for Intelligent Transportation Systems
Silvia Krug1, Jochen Seitz1, Elena Chervakova2, Hannes Toepfer2Sense. Enable. SPITSE 2016, , Moskau, Russland1Technische Universität Ilmenau, Department of Electrical Engineering and Information Technology, Institute for Information Technology, Communication Networks Group, 98694 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
OKTOPUS: Anwendungsfelder Halbleitertest
Dr. K. Förster1.Projektabschluss-Meeting, 05.10.-07.10.2010, Randolfzell1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Poster presentation