Bianca Leistritz,
Frank Senf
Elena Chervakova
Sven Engelhardt
Wolfram Kattanek
18th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications, PowerMEMS 2018, 4-7 December, 2018, Daytona Beach, Florida, USA
Bianca Leistritz,
Wolfram Kattanek
18th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications, PowerMEMS 2018, 4-7 December, 2018, Daytona Beach, Florida, USA
Sebastian Uziel,
Benjamin Eichhorn
Michael Katzschmann
Thomas Elste
Maximilian Matthe
Philipp Schulz
9. Jahreskolloquium Kommunikation in der Automation (KommA 2018), 21. November 2018, Lemgo
Das IMMS hat für die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) ein hochpräzises Positioniersystem für Maßstäbe der nächsten Mikroelektronik-Generation entwickelt.
Stephan Gorges,
Steffen Hesse
33rd Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2018, 4-9 November 2018, Las Vegas, Nevada, USA