Bianca Leistritz, Frank Senf, Elena Chervakova, Sven Engelhardt, Wolfram Kattanek,
Daytona Beach, Florida, USA
2018
18th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications, PowerMEMS 2018
Bianca Leistritz, Wolfram Kattanek,
Daytona Beach, Florida, USA
2018
18th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications, PowerMEMS 2018
Sebastian Uziel, Benjamin Eichhorn, Michael Katzschmann, Thomas Elste, Maximilian Matthé, Philipp Schulz,
Lemgo
2018
9. Jahreskolloquium Kommunikation in der Automation (KommA 2018)
Das IMMS hat für die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) ein hochpräzises Positioniersystem für Maßstäbe der nächsten Mikroelektronik-Generation entwickelt.