1741. NFM-100   Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.  

  1742. euspen 2022   Euspen Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control 15th – 16th November 2022  

  1744. Hochempfindliche Beschleunigungsmessung mit kleinem MEMS-Sensor   IMMS erhält iENA-Bronzemedaille für mikroelektromechanischen Beschleunigungssensor  

  1745. iENA-Bronzemedaille für die Entwicklung: „Mikroelektromechanischer Beschleunigungssensor“   Das könnte Sie auch interessieren  

  1746. Nominierung für den XXV. Innovationspreis Thüringen 2022 in der Kategorie „Industrie und Material“: Skalierbare Ultraschall- und Volumenstrom-Sensorplattform für die Optimierung der Energieeffizienz in der Industrie   Das könnte Sie auch interessieren  

  1747. IMMS für den XXV. Innovationspreis Thüringen 2022 nominiert   Skalierbare Ultraschall- und Volumenstrom-Sensorplattform für die Optimierung der Energieeffizienz in der Industrie  

  1748. Neuer Themenbereichsleiter für Mechatronik   Dr.-Ing. Ludwig Herzog leitet seit dem 01.12.2022 das Mechatronik-Team des IMMS  

  1749. Praktika, HiWi-Jobs, Bachelor- und Master-Arbeiten   Studentinnen und -Studenten geben in einem Video einen Überblick über ihre Arbeiten am IMMS