Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.
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Jun Tan
Muralikrishna Sathyamurthy
Alexander Rolapp
Jonathan Gamez
Moataz Elkharashi
Benjamin Saft
Sylvo Jäger
Ralf Sommer
in IEEE Journal of Radio Frequency Identification, vol. 4, no. 1, pp. 3-13, March 2020, DOI: https://doi.org/10.1109/JRFID.2020.2967862
Leitanwendung nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten: Um beispielsweise die immer höhere Komplexität integrierter Systeme auf immer kleineren Halbleiterflächen fertigen zu können, forschen wir an immer präziseren Antrieben zur Nanometer-Vermessung und -Strukturierung von Objekten.
Safwat Irteza,
Eric Schäfer
Christian Vollmer
Matteo Sgammini
Ralf Stephan
Eckhard Hennig
Matthias A. Hein
Wireless Information Technology and Systems (ICWITS), 2012 IEEE International Conference on, DOI: 10.1109/ICWITS.2012.6417676, IEEE Xplore Digital Library, http://ieeexplore.ieee.org/Xplore/, Page(s): 1-4
Bianca Leistritz,
Hannes Töpfer
13th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMems), London, Großbritannien, 03.12.2013-06.12.2013
