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Referenz
  1501. NanoFab  
Nahaufnahme des Quarzglas-Läufers mit einem Hubmodul aus Metall, Magnetbrücken und Laserinterferometer . Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.  
Referenz
  1502. Nanofabrication and -metrology by using the nanofabrication machine (NFM-100)  
Ingo Ortlepp, Jaqueline Stauffenberg, Anja Krötschl, Denis Dontsov, Jens-Peter Zöllner, Steffen Hesse, Christoph Reuter, Steffen Strehle, Thomas Fröhlich, Ivo W. Rangelow, Eberhard Manske, 2022 Proc. SPIE 12054, Novel Patterning Technologies  
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  1503. Nanometer-Positionierung mit 6D-Regelung  
Steffen Hesse, 2025 Mikroproduktion, Fachmagazin, Ausgabe 03/2025  
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  1504. Nanometergenaue Hubmodule für die Präzisionsantriebstechnik  
Stephan Gorges, 2021 Konstruktion (2021) Nr. 11-12, Sonderteil Antriebstechnik  
Pressemitteilungen
  1505. Nanometergenaue Positionierung für High-Tech-Anwendungen  
SIOS und IMMS verbinden Know-how aus Forschung und Industrie im neuen Projekt MC_NPS  
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