Aktuelle Publikation
Nanopositioniersysteme grosser Bewegungsbereiche
St. Hesse1.
Industriekolloquium des Sonderforschungsbereiches 'Nanopositionier- und Nanomessmaschinen', 08. Mai 2008, Ilmenau, Germany
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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