Aktuelle Publikation
Nanopositioniersysteme großer Bewegungsbereiche
St. Hesse1.
C. Schäffel1.
DFG Begutachtung, SFB 622 'Nanopositionier- und Nanomesssysteme', Teilprojekt A5, Forschungsergebnisse 2005-2009, 11.02.-12.02.2009, Technische Universität Ilmenau
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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