Aktuelle Publikation
Nanopositioniertechnik für große Bewegungsbereiche
St. Hesse1.
Ch. Schäffel1.
Fachzeitschrift 'Technisches Messen', Ausgabe 09/2006, S. 493-498
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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