Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1226 Ergebnisse
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Investigation of detectors for optical pick-up systems for DVD applications
J. Klein1. St. Lange1.session of the conference SENOR 2003, Mai 20031IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Posterpräsentation -
Investigation of distance measurement reproducibility for a long-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1, Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Ludwig Herzog1, Thomas Fröhlich2, Thomas Kissinger220th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024), , Sendai, Japan1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany -
Investigation of long-term distance measurement repeatability in a large-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Eberhard Manske2, Thomas Fröhlich2, Thomas Kissinger2in Meas. Sci. Technol., vol. 37, no. 24, pp. 245005, 2026, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ae76221IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany -
Investigation of thermal and non-linear effects on the performance of the power amplifier - BAW filter - chain in a LTE transmitter
Uwe Stehr1, Johannes Stegner1, Vikrant Chauhan2, Victor Silva Cortes2, Robert Weigel2, Amelie Hagelauer2, Astrid Frank3, Steffen Michael3, Matthias A. Hein12018 IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2018, , Kobe, Japan1Technische Universität Ilmenau, Department of Electrical Engineering and Information Technology, Institute of Information Technology, RF and Microwave Research Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 2Friedrich Alexander University Erlangen-Nuremberg, Institute for Electronics Engineering, Cauerstr. 7, 91058 Erlangen, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Investigations of metal systems in a silicon ceramic composite substrate for electrical and thermal contacts as well as associated mounting aspects
Michael Fischer1, T. Welker1, Bianca Leistritz2, Christoph Schäffel2, Martin Hoffmann1, Jens Müller1Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies, Additional Conferences (Device Packaging, HiTEC, HiTEN, & CICMT), , Denver, Colorado, USA, pp. 000107-000110, DOI: dx.doi.org/10.4071/2016CICMT-WA221Technical University of Ilmenau, Institute for Micro- and Nanotechnologies (IMN) MacroNano®, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Investigations on the positioning accuracy of the Nano Fabrication Machine (NFM-100)
Jaqueline Stauffenberg1, Ingo Ortlepp1, Ulrike Blumröder1, Denis Dontsov2, Christoph Schäffel3, Mathias Holz4, Ivo W. Rangelow5, Eberhard Manske1in tm - Technisches Messen, vol. 88, no. 9, pp. 581-589, 2021, DOI: doi.org/10.1515/teme-2021-00791Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 5Technische Universität Ilmenau, Department of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Nanoscale Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany -
Investigations on the Tracking Control and Performance of a Long Stroke Vertical Nanopositioning Drive
Alex S. Huaman1, Stephan Gorges1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Thomas Fröhlich2, Eberhard Manske2Euspen (European Society for Precision Engineering and Nanotechnology) – 22nd International Conference & Exhibition, , Geneva, Switzerland1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany -
Investigations on tip-based large area nanofabrication and nanometrology using a planar nanopositioning machine (NFM-100)
Jaqueline Stauffenberg1, Johannes Belkner1, Denis Dontsov2, Ludwig Herzog3, Steffen Hesse3, Ivo W Rangelow1,4, Ingo Ortlepp1, Thomas Kissinger1, Eberhard Manske1in Meas. Sci. Technol., vol. 35, no. 8, pp. 085011, 2024, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ad46681Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany -
Investigations on Wafer-Level Testing for Accelerometers by Harmonic Response Measurements
St. Michael1. S. Hering2. M. Katzschmann1.MEMUNITY-Workshop 'Testing MEMS at Wafer-Level', 01.03.2006, Halle1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2X-FAB AG.Vortrag -
Investigations to reduce positioning uncertainty of direct drive systems with aerostatic guiding
St. Hesse1. T. Maaß1. H. -U. Mohr1. Ch. Schäffel1.6th Euspen International Conference, 28.05-01.06.2006, Baden bei Wien1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag