Aktuelle Publikation
Investigations on Wafer-Level Testing for Accelerometers by Harmonic Response Measurements
St. Michael1.
S. Hering2.
M. Katzschmann1.
MEMUNITY-Workshop 'Testing MEMS at Wafer-Level', 01.03.2006, Halle
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2X-FAB AG.
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