Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1163 Ergebnisse
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Tip‑ and Laser‑based 3D Nanofabrication in Extended Macroscopic Working Areas
Ingo Ortlepp1. Thomas Fröhlich1. Roland Füßl et al. 1.Nanomanufacturing and Metrology 4, 132–148 (2021). DOI: doi.org/10.1007/s41871-021-00110-w1Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Ehrenbergstrasse 29, 98693, Ilmenau, Germany. -
Tip-based nanofabrication below 40 nm combined with a nanopositioning machine with a movement range of Ø100 mm
Jaqueline Stauffenberg1. Michael Reibe1. Anja Krötschl2. Christoph Reuter2. Ingo Ortlepp1,2. Denis Dontsov3. Steffen Hesse4. Ivo W. Rangelow1,5. Steffen Strehle2. Eberhard Manske1.Micro and Nano Engineering, Volume 19, 2023, 100201, ISSN 2590-0072, DOI: doi.org/10.1016/j.mne.2023.1002011Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Production and Precision Measurement Technology Group, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. 2Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Technische Universität Ilmenau, Max-Planck-Ring 12, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 5nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. -
Tip- and laser-based nanofabrication up to 100 mm with sub-nanometre precision
Ingo Ortlepp1. Michael Kühnel1. Martin Hofmann1. Laura Weidenfeller1. Johannes Kirchner1. Shraddha Supreeti1. Rostyslav Mastylo1. Mathias Holz1. Thomas Michels1. Roland Füßl1. Ivo W. Rangelow1. Thomas Fröhlich1. Denis Dontsov2. Christoph Schäffel3. Eberhard Manske1.Proc. SPIE 11324, Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020, 113240A (23 March 2020), DOI: doi.org/10.1117/12.25510441Technische Universität Ilmenau, Germany. 2SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Timing Accurate Synthesis of Digital SystemC Components in a Mixed-Signal Environment
Georg Gläser. Eckhard Hennig.CDNLive2014, 19.05.2014 - 21.05.2014, München, Poster -
Thick Copper Re-Distribution Layer for Integrated High Voltage Transistors
Ralf Lerner1. Klaus Heinrich1. Marco Erstling1. Peter Kornetzky2.14th International Seminar on Power Semiconductors (ISPS), 29-31 August 2018, Prague, Czech Republic1X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Thermal Modeling and Measurement of a Power Amplifier Module for a Silicon-Ceramic Substrate
Astrid Frank1. V. Silva Cortes2. Steffen Michael1. A. Hagelauer2. G. Fischer2.2018 11th German Microwave Conference (GeMiC), Freiburg, 12-14 March 2018, pp. 79-82. DOI: doi.org/10.23919/GEMIC.2018.83350331IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Lehrstuhl für technische Elektrotechnik, Friedrich-Alexander-Universtität Erlangen Nürnberg, Germany. -
Thermal Channel Noise of quarter and sub-quarter micron NMOS FET's
G. Knoblinger2. P. Klein2. U. Baumann1.ICMTS 2000, USA, CA, Monterey, März 20001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Infineon Technologies AG Germany.Vortrag -
There is a limit to everything: Automated AMS Operating condition check Generation on System Level
Georg Gläser1. Martin Grabmann1. Gerrit Kropp1. Andreas Fürtig2.Integration, Volume 63, 2018, Pages 383-391, ISSN 0167-9260, DOI: doi.org/10.1016/j.vlsi.2018.02.0161IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute for Computer Science, Goethe Universität Frankfurt a. M., Germany. -
Themenkreis Virtual Test und automatische Testplangenerierung aus ATML
D. Glaser1. P. Lu1. K. Helmreich1. I. Gryl2. M. Meister2. A. Lechner3. M. Jegler3. Z. Kiss3.Virtuelle Instrumente in der Praxis VIP 2010, 27.10.-28.10.2010, München, Proceedings1LZS Universität Erlangen. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 3Konrad GmbH, Radolfzell.Fachartikel -
The sound of ultrasound
Nicki Bader1. Peter Holstein1. Hans-Joachim Münch1. Sebastian Uziel2. Tino Hutschenreuther2. Steffen Seitz1.26th International Congress on Sound and Vibration (ICSV26), 7 - 11 July 2019, Montréal, Canada, ISBN: 97815108926991SONOTEC Ultraschallsensorik Halle GmbH, 06112 Halle, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.