1561. Energieversorgung im Spannungsfeld   Dr. W. Sinn, ELMUG-Technologiekonferenz elmug4future, 23.06.2010, Suhl  

  1562. Sensornahe Signalverarbeitung   S. Uziel, ELMUG-Technologiekonferenz 'elmug4future', 23.06.2010, Suhl  

  1563. Komplexitätsaspekte in drahtlosen Sensornetzwerken   Prof. Dr. H. Töpfer, ELMUG-Technologiekonferenz 'elmug4future', 23.06.2010, Suhl  

  1564. SMARTIEHS - The interferometric test station for parallel inspection of MEMS and MOEMS   K. Gastinger, M. Kujawinska U. Zeitner C. Gorecki Dr. Ch. Schäffel 11th Scientific Conference Optoelectronic and Electronic Sensors COE, 20.06-23.06.2010, Polen  

  1565. Planar Magnetic Drives and Bearings for Multi-Axis Nanopositioning Machines with Large Travel Ranges.   T. Sattel, R. Volkert S. Hesse Dr. Ch. Schäffel Actuator 2010, 14.06.-16.06.2010, Bremen  

  1566. Erfolgskritisches Wissen bewerten und entwickeln - Praxisbericht   Dr. W. Sinn, TU Ilmenau (Ringvorlesung), 08.06.2010, Ilmenau  

  1567. Realisierung eines PDICs für 12fach Blu-ray-Disc-RW Laufwerke mit Hilfe neuartiger effizienter Entwurfsmethodiken   S. Lange, Dr. B. Dimov Dr. T. Reich Dr. E. Hennig Kleinheubacher Tagung 2010, 04.-06.10.2010, Miltenberg  

  1568. First results of an interferometric controlled planar positioning system for 100 mm with zerodur slider   S. Hesse, H.-J. Büchner Prof. Dr. G. Jäger Dr. Ch. Schäffel H.-U. Mohr B. Leistritz 10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.-04.06.2010, Delft, Niederlande  

  1569. Optical, mechanical and electro-optical design of an interferometric test station for massive parallel inspection of MEMS and MOEMS   Dr. Ch. Schäffel, S. Michael B. Leistritz M. Katzschmann N. Zeike K. Gastinger M. Kujawinska M. Jozwik S. Beer 10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.2010-04.06.2010, Delft, Niederlanden  

  1570. First results of an interferometric controlled planar positioning system for 100 mm with zerodur slider   S. Hesse, H.-J. Büchner Prof. Dr. G. Jäger Dr. Ch. Schäffel H. U. Mohr B. Leistritz 10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.-04.06.2010, Delft, Niederlande