Ernst-Abbé-Zentrum Institut für Mikroelektronikund Mechatronik - Systeme Einladung zur VDI-Vortragsveranstaltung im IMMS Programm: 1. Begrüßung / Vorstellung des IMMS 2. Magnetisch schwebende Plattform zur Nanometer-Positionierung Dr.-Ing. Christoph Schäffel, Themenbereichsleiter Mechatronik § Stand der Technik, Ziel des Projektes Mag6D § Konzept und Module der Plattform § Ergebnisse und Ausblick 3. Ressourcen- und energieeffiziente intelligente Sensornetzwerke Dr.-Ing. Eckhard Hennig, Projektleiter „GreenSense“ § Low-Power-CMOS-Multisensorik § Mikromechanische…
