1101. Design of an interferometric test station for parallel inspection of MEMS   C. Schäffel, S. Michael R. Paris A. Frank N. Zeike K. Gastinger M. Kujawinska U. Zeitner S. Beer Ilmenau: 56. IWK der TU Ilmenau. 12.09. - 16.09.2011  

  1102. Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider   S. Hesse, C. Schäffel H-U. Mohr H.-J. Büchner Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-103:1  

  1103. Design of an interferometric test station for parallel inspection of MEMS   C. Schäffel, S. Michael R. Paris A. Frank N. Zeike K. Gastinger M. Kujawinska U. Zeitner S. Beer Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-098:5  

  1104. Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider   S. Hesse, C. Schäffel H-U. Mohr H.-J. Büchner Ilmenau: 56. IWK der TU Ilmenau. 12.09. - 16.09.2011  

  1105. Entwicklung eines magnetisch geführten, planaren Direktantriebs   M. Katzschmann, D. Karolewski C. Schäffel Zittau: 8. Workshop Magnetlagertechnik Zittau-Chemnitz. Tagungsband. S. 23-29  

  1106. Messwertgestützte Energieeffizienzoptimierung   F. Dinger, T. Hutschenreuther Erfurt: 4. Energieeffizienz-Workshop: 'Energieeffizienz durch Prozessoptimierung - Von der Analyse zu intelligenten Lösungen'. 07.07.2011  

  1107. Die Zukunft zu Hause - Smart Home Services   T. Hutschenreuther, M. Götze Suhl: elmug4future, 05.07. - 06.07.2011  

  1108. Flexible Hardware-Softwareplattformen für Smart Home Services   T. Hutschenreuther, M. Götze Suhl: elmug4future. 05.07. - 06.07.2011  

  1109. Magnetische Direktantriebe mit sub-µm-Genauigkeit Magnetisch schwebende Plattform   F. Spiller, Suhl: elmug4future. 05.07. - 06.07.2011  

  1110. Magnetische Direktantriebe mit sub-µm-Genauigkeit Magnetisch schwebende Plattform   F. Spiller, Suhl: elmug4future, 05.07. - 06.07.2011