IMMS - Publications overview

Publications overview –AFiA

Development of an Integrated Guiding and Actuation Element for High Dynamic Nanopositioning Systems
Stephan Gorges¹, Bianca Leistritz¹, Steffen Hesse¹, Ingo Ortlepp², G. Slotta³, Christoph Schäffel¹
Ilmenau Scientific Colloquium 2017, Session 1.1 – Precision Measurement Technology, 11 September 2017 – 15 September 2017, Ilmenau
¹IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, ²Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, ³AeroLas GmbH, Grimmerweg 6, 82008 Unterhaching, Germany
Magnetic 6D-direct drives with nanometre precision Talk and poster presentationAFiA INPOS