Current Publication
Development of an Integrated Guiding and Actuation Element for High Dynamic Nanopositioning Systems
Stephan Gorges1, Bianca Leistritz1, Steffen Hesse1, Ingo Ortlepp2, G. Slotta3, Christoph Schäffel1
Ilmenau Scientific Colloquium 2017, Session 1.1 – Precision Measurement Technology, , Ilmenau
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany, 3AeroLas GmbH, Grimmerweg 6, 82008 Unterhaching, Germany
