IMMS - MEMS2015 - Schaltplan-basierter Entwurf von MEMS für Anwendungen in Optik und Robotik

Current Publication

MEMS2015 - Schaltplan-basierter Entwurf von MEMS für Anwendungen in Optik und Robotik

Volker Boos¹. Ralf Popp². Mirco Meiners³. D. Meisel³. A. Müller⁴.

in Newsletter edacentrum, 01/2013

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. ²edacentrum GmbH Hannover. ³Robert Bosch GmbH Stuttgart. ⁴X-FAB Semiconductor Foundries AG Erfurt.

Article

Related content

Project

MEMS2015

The IMMS tool automatically generates mechanical designs. MEMS can be simulated and verified as an entire system.

Best Paper Award Runner-Up für den Beitrag: Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor

Jenny Klaus