Current Publication
Integrated Planar 6-DOF Nanopositioning System
Stephan Gorges1, Steffen Hesse1, Christoph Schäffel1, Ingo Ortlepp2, Eberhard Manske2, Enrico Langlotz3, Denis Dontsov3
in IFAC-PapersOnLine, vol. 52, no. 15, pp. 313-318, 2019, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2019.11.693
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany
