Current Publication
Integrated Planar 6-DOF Nanopositioning System
Stephan Gorges1.
Steffen Hesse1.
Christoph Schäffel1.
I. Ortlepp2.
E. Manske2.
E. Langlotz2.
D. Dontsov3.
2019 11th IFAC Symposium on Nonlinear Control Systems (NOLCOS 2019), 4 - 6 September 2019, Vienna, Austria , IFAC-PapersOnLine, Volume 52, Issue 15, 2019, Pages 313-318, ISSN 2405-8963, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2019.11.693
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
2Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany.
3SIOS Meßtechnik GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
