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Hochpräzise positionieren – Integrierter 6-DOF-Direktantrieb bewegt Objekte nanometergenau im Raum
Christoph Schäffel1
Konstruktion, Sonderteil Antriebstechnik, , Nr. 11-12, https://www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
