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Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung
Stefan Hampl1.
Bianca Leistritz1.
Benjamin Saft1.
Eckhard Hennig1.
Martin Hoffmann2.
Mikrosystemtechnik Kongress, Aachen, 2013, S. 524-527, ISBN 978-3-8007-3555-6
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2Technische Universität Ilmenau IMN MacroNano®, Fachgebiet Mikromechanische Systeme Ilmenau.
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GreenSense
For bio-analysis IMMS developed energy-efficient multi-parametric RFID microsensors and energy harvesting modules for operating autonomous sensors.