Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung

Stefan Hampl¹. Bianca Leistritz¹. Benjamin Saft¹. Eckhard Hennig¹. Martin Hoffmann².

Mikrosystemtechnik Kongress, Aachen, 2013, S. 524-527, ISBN 978-3-8007-3555-6

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. ²Technische Universität Ilmenau IMN MacroNano®, Fachgebiet Mikromechanische Systeme Ilmenau.

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GreenSense

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