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Das Parallelisieren von Motor- und Regelungsentwurf reduziert Entwicklungszeit und -kosten

Dr. Ch. Schäffel1. M. Katzschmann1.

Erschienen in MSR-Magazin, Automatisierungstechnik für Fertigung und Prozess, 03/2010

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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SMARTIEHS

The newly developed measurement system can simultaneously inspect MEMS structures on wafer level to significantly reduce test effort.


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