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Aktuelle Publikation

Auf den Punkt gebracht - Nahezu reibungsfreies Nanopositioniersystem mit großem Verfahrbereich

S. Hesse1.

Erschienen in Antriebstechnik - Konstruktion, Entwicklung und Anwendung von Antrieben und Steuerungen, 11/2010

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
FachartikelSFB622

Zugehörige Inhalte

Projekt

SFB622

Das IMMS hat neuartige Antriebsstrukturen für die nanometerpräzise Bewegung von Objekten über große Fahrbereiche entwickelt.


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