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NPS6D200 – Realization of high precision long stroke vertical actuation in conjunction with a planar direct drive
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Davi-Anders Brasil1. Ludwig Herzog1.euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen, ’s-Hertogenbosch, The Netherlands, November 12-13, 20241IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
NPS6D200: Long-Range-6D-Nanopositionierung mit interferometrischem Feedback für das Closed-Loop-Regelungssystem
Steffen Hesse1.Experten-Tag für Präzisionsmesstechnik, 28. - 29. Oktober 2025, bei SIOS Meßtechnik GmbH, Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Nutzung der Hörbarmachung von Ultraschallsignalen zur (werkstofflichen) Zustandsbewertung von Maschinen- und Bauteilen
Nicki Bader1. Peter Holstein1. Andreas Tharandt1. Sebastian Uziel2. Tino Hutschenreuther2.DAGA 2019, 45. Jahrestagung für Akustik, 18. - 21. März 2019, Rostock1SONOTEC Ultraschallsensorik Halle GmbH, 06112 Halle, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
OKTOPUS: Anwendungsfelder Halbleitertest
Dr. K. Förster1.Projektabschluss-Meeting, 05.10.-07.10.2010, Randolfzell1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Poster presentation -
On the Role of Wireless Sensor Networks for Intelligent Transportation Systems
Silvia Krug1. Jochen Seitz1. Elena Chervakova2. Hannes Toepfer2.Sense. Enable. SPITSE, 2016, 20.06.2016 - 24.06.2016, Moskau, Russland1Communication Networks Group Technische Universität Ilmenau Ilmenau, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. -
One-step autozeroing two-stage amplifier with floating-gate memory cells
D. Kirsten1. V. Schulze1. D. Nuernbergk1.DATE 2009, 20.-24. April 2009, Nizza, France1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Poster presentation -
Ontwikkeling van apparatuur vor materiaalonderzoek onder hoogvacuüm (Devices for the examination of materials and pairings of materials in standard atmosphere and ultra high vacuum
F. Spiller1. O. Mollenhauer2. M. Scherge.Constructeur, Verlag ten Hagen & Stam, Den Haag, 2001, 40. Jahrgang, ISSN 0010-66581IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TETRA GmbH.Article -
Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Stephan Gorges1. Eberhard Manske2.euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, 15th – 16th November 2022, s-Hertogenbosch, The Netherlands, NL1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany. -
Optical detected magnetic resonance (ODMR) of ASi-Sii defects: case of acceptor indium
Kevin Lauer1,2. Bernd Hähnlein1. Mario Bähr1. Kai Kühnlenz1. Philipp Kellner1. Dirk Schulze2. Stefan Krischok2. Alexander Rolapp3. Christian Möller1. Thomas Ortlepp1.4th DRD3 week on Solid State Detectors R&D, 10. –14. November 2025, CERN, Zürich, Schweiz1CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Konrad-Zuse-Str. 14, 99099 Erfurt, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Physik, Weimarer Str. 32, 98693 Ilmenau, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Optical, mechanical and electro-optical design of an interferometric test station for massive parallel inspection of MEMS and MOEMS
K. Gastinger1. K. H. Haugholt1. M. Kujawinska2. M. Jozwik2. C. Schäffel3. S. Beer4.Paper 7389-56, SPIE Europe Optical Metrology, 14.- 18. Juni 2009, München1SINTEF, Norway. 2Warsaw Univ. of Technology, Poland. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 4Ctr. Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA, Switzerland.Article SMARTIEHS