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Measurement Precision of a Planar Nanopositioning Machine with a Range of Motion of Ø100 mm
Jaqueline Stauffenberg1, Ingo Ortlepp1, Johannes Belkner1, Denis Dontsov2, Enrico Langlotz2, Steffen Hesse3, Ivo W Rangelow4, Eberhard Manske1Applied Sciences 2022, 12(15), 7843, DOI: doi.org/10.3390/app121578431Technische Universität Ilmenau, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Production and Precision Measurement Technology Group, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany -
Measuring and Optimizing Efficiency of Electrostatic Energy Harvesters for Sensor Applications
Björn Bieske1, Gerrit Kropp1, Alexander Rolapp1Sensorica 2017, IEEE Workshop, , Mülheim an der Ruhr, https://d-nb.info/11371952151IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Mechatronic Analysis and Design of High-Precision Drives
E. Kallenbach2. P. Maißer2. J. Lückel2. E. Saffert2. Ch. Schäffel1. H. Freudenberg2. W. Kuhlbusch2.ASPE, Annual Meeting, Norfolk, Virginia, Proc. P 507-510, Oktober 19971IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Talk -
Mechatronik - eine interdisziplinäre Herausforderung
G. Scarbata1.EUROFORUM, Fachkonferenz für die Automobilindustrie, 15.04.-16.04.031IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Meeting ASEDA Projekt - ANASTASIA - WP3.1
St. Lange1.München, Juli 20011IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Meeting ASEDA Projekt ANASTASIA - WP2
R. Kindt1.Meylan, Juni 20011IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Mehr Transparenz in der Produktion und in Prozessen durch nachrüstbare Sensorik
Jörg Weber1Jenaer Technologietag, Digitale Arbeitswelten, Workshop zu Technologie, , Ernst-Abbe-Hochschule, Jena1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
MEMS2015 - Schaltplan-basierter Entwurf von MEMS für Anwendungen in Optik und Robotik
Volker Boos1. Ralf Popp2. Mirco Meiners3. D. Meisel3. A. Müller4.in Newsletter edacentrum, 01/20131IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2edacentrum GmbH Hannover. 3Robert Bosch GmbH Stuttgart. 4X-FAB Semiconductor Foundries AG Erfurt.Article MEMS2015 -
Messtechnisch gestützte Beratung und Analyse des Kosteneinsparpotenzials
H. Töpfer1,2.Gera: Enterprise Europe Network Thüringen- Unternehmerworkshop. 13.04.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Fachgebiet Theoretische Elektrotechnik, Germany.Talk -
Messumgebung für Lebensdauertests basierend auf dem Konzept der universellen Test-Chips (UTC)
Björn Bieske1, Ingo Gryl1, Pierre Wenke2, Martin Jäger3, Jörg Steinecke2, Xiao Liu235. ITG/GI/GMM-Workshop Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen (TuZ 2023), , Erfurt, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2X-FAB Semiconductor Foundries GmbH, Haarbergstraße 67, 99097 Erfurt, Germany, 3X-FAB Global Services GmbH, Haarbergstraße 67, 99097 Erfurt, Germany