1163 results
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Nanopositioning and nanomeasuring technology - following the challenges of nanofabrication
E. Manske1. T. Hausotte1. R. Füßl1. T. Fröhlich1. M. Hofmann1. I. Rangelow1. J. Reger1. C. Schäffel2. S. Sinzinger1. R. Theska1.11th Seminar on Quantitative Microscopy (QM) and 7th Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods, Dimensional and related measurements in the micro- and nanometre range, March 9 - 11, 2016, Wroclaw, Poland1Competence Centre „Nanopositioning and Nanomeasuring Machines, Department of Mechanical Engineering, Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. -
Nanopositioning and fabrication using the Nano Fabrication Machine with a positioning range up to ⊘100 mm
Jaqueline Stauffenberg1. Christoph Reuter1. Ingo Ortlepp1. Mathias Holz2. Denis Dontsov3. Christoph Schäffel4. Jens-Peter Zöllner1. Ivo Rangelow1. Steffen Strehle1. Eberhard Manske1.Proc. SPIE 11610, Novel Patterning Technologies 2021, 1161016 (22 February 2021); DOI: doi.org/10.1117/12.25837031Technische Universität Ilmenau, Germany. 2nano analytik GmbH, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Nanopositioniertechnik für große Bewegungsbereiche
St. Hesse1. Ch. Schäffel1.Fachzeitschrift 'Technisches Messen', Ausgabe 09/2006, S. 493-4981IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
Nanopositioniersysteme großer Bewegungsbereiche
St. Hesse1. C. Schäffel1.DFG Begutachtung, SFB 622 'Nanopositionier- und Nanomesssysteme', Teilprojekt A5, Forschungsziele 2009-2013, 11.02.-12.02.2009, Technische Universität Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Poster presentation -
Nanopositioniersysteme großer Bewegungsbereiche
St. Hesse1. C. Schäffel1.DFG Begutachtung, SFB 622 'Nanopositionier- und Nanomesssysteme', Teilprojekt A5, Forschungsergebnisse 2005-2009, 11.02.-12.02.2009, Technische Universität Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Poster presentation -
Nanopositioniersysteme grosser Bewegungsbereiche
St. Hesse1.Industriekolloquium des Sonderforschungsbereiches 'Nanopositionier- und Nanomessmaschinen', Proceedings S. 150-154, 08. Mai 2008, Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
Nanopositioniersysteme grosser Bewegungsbereiche
St. Hesse1.Industriekolloquium des Sonderforschungsbereiches 'Nanopositionier- und Nanomessmaschinen', 08. Mai 2008, Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Nanometergenaue Hubmodule für die Präzisionsantriebstechnik
Stephan Gorges1.Konstruktion (2021) Nr. 11-12, Sonderteil Antriebstechnik, Seite 36 - 40, www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik/hubmodule-fuer-die-praezisionsantriebstechnik/1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Nanofabrication and -metrology by using the nanofabrication machine (NFM-100)
Ingo Ortlepp1. Jaqueline Stauffenberg1. Anja Krötschl1. Denis Dontsov2. Jens-Peter Zöllner1. Steffen Hesse3. Christoph Reuter1. Steffen Strehle1. Thomas Fröhlich1. Ivo W. Rangelow1. Eberhard Manske1.In Novel Patterning Technologies 2022 (Vol. 12054, pp. 76-87). SPIE, DOI: doi.org/10.1117/12.26151181Technische Universität Ilmenau, Germany. 2SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Nachrüstbares Monitoring – Defekte Straßenlampen clever ausfindig machen
Sören Schneider1. Marco Götze1. Silvia Krug1. Kathrin Veigel2.in elektroniknet.de, 9. Juli 2024, www.elektroniknet.de/smarter-world/defekte-strassenlampen-clever-ausfindig-machen.218803.html1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2elektroniknet.de, Redaktion.