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Perforated plates of inertial sensors – modeling by effective material properties
Steffen Michael1, Astrid Frank1, G. Hölzer2, G. Lorenz3in Procedia Engineering, EUROSENSORS 2014, the 28th European Conference on Solid-State Transducers, vol. 87, pp. 480–483, 2014, DOI: dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2014.11.4001IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2X-FAB Semiconductor Foundries AG, Haarbergstraße 67, 99097 Erfurt, Germany, 3Conventor, 3 avenue de Quebec, 91140 Villebon sur Yvette, France -
Passive 350 GHz Video Imaging Systems for Security Apllications
E. Heinz1, T. May2, D. Born2, G. Zieger1, S. Anders2, V. Zakosarenko1, H.-G. Meyer2, Christoph Schäffel3in Journal of Infrared, Millimeter and Terahertz Waves, vol. 36, no. 7, pp. 879–895, 2015, DOI: dx.doi.org/10.1007/s10762-015-0170-81Supracon AG, An der Lehmgrube 11, 7751 Jena, Germany, 2Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V., Albert-Einstein-Str. 9, 7745 Jena, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Parasitic Symmetry at a Glance: Uncovering Mixed-Signal Layout Constraints
Georg Gläser1, Benjamin Saft1, Ralf Sommer1FAC 2017, Frontiers in Analog CAD, , Frankfurt on the Main, Germany, pp. 1-6, https://ieeexplore.ieee.org/document/8011279/1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Parametric Measurement Unit und Pinelektronik für ein modulares Mixed Signal Testsystem
A. Rolapp1. R. Paris1.21. Workshop 'Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen' (TuZ 2009), Tagungsband S. 86, 15. - 17. Februar 2009, Bremen1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
Parametric Measurement Unit and Pin Electronics for modular Mixed Signal Test Systems
A. Rolapp1. R. Paris1.Chip, Packaging, Design, Simulation and Test - International Conference, Workshop and Table-top Exhibition 'Semiconductor Conference Dresden 2009' (SCD 2009), 29. - 30. April 2009, Dresden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Parameteridentifikation von MEMS auf Wafer-Level mittels dynamischer Messungen
S. Michael1. R. Paris2. S. Hering3.6. ITG/GI/GMM-Workshop Multi-Nature Systems: Entwicklung von Systemen mit elektronischen und nichtelektronischen Komponenten, Februar 2007, Erfurt1Melexis Erfurt GmbH. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 3X-FAB AG.Talk -
Parameter Identification of Piezoelectric AlGaN/GaN Beam Resonators by Dynamic Measurements
St. Michael1. K. Brueckner2. F. Niebelschuetz2. K. Tonisch2. C. Schäffel1.10th EuroSimE 2009, 26.-28. April, Delft, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies.Article -
Parameter Identification of MEMS Membrane and Beam Structures by Modal Analysis and Dynamic Measurements
St. Michael1.ANSYS Conference & 27. CADFEM Users' Meeting, 18. - 20. November 2009, Leipzig1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
Parameter Identification of Membrane Structures - Chances and Limitations
S. Michael1.SSI 2010 - MEMUNITY Workshop, 24.03.2010, Grenoble, France1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Parameter extraction such as layer thickness and stress at wafer level for process monitoring in semiconductor manufacturing
Steffen Michael1Microstructure User Meeting 2026, Symposium zur optischen Schwingungsmessung, , Waldbronn, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany