Current Publication
Parameter Identification of Piezoelectric AlGaN/GaN Beam Resonators by Dynamic Measurements
St. Michael1.
K. Brueckner2.
F. Niebelschuetz2.
K. Tonisch2.
C. Schäffel1.
10th EuroSimE 2009, 26.-28. April, Delft, Netherlands
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2TU Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies.
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