Steffen Hesse, Michael Katzschmann, Alex S. Huaman, Stephan Gorges, Eberhard Manske,
’s-Hertogenbosch, Netherlands
2022
euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control
Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.
Das IMMS entwickelt einen CMOS-Bildsensor zur zeitaufgelösten Fluoreszenzdetektion für die direkte Integration in mikrofluidische Kartuschen mittels 3D-Siebdruck.
„Das IMMS konnte uns aufgrund seiner jahrelangen Erfahrung im Bereich Messtechnik und dem Schaltungsdesign für optische Sensoren wertvolle Unterstützung anbieten. Die zuverlässige Arbeit und die vertrauensvolle Partnerschaft ist eine hochgeschätzte Basis für die Zusammenarbeit mit dem IMMS.”
