Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1163 Ergebnisse
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Wege in die Zukunft - Der Fahrplan zum Erfolg
W. Sinn1.ELMUG Best-Practice-Workshop, 28.Oktober 2009, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Planare hochdynamische Direktantriebe für den Sub-µm-Bereich mit großen Verfahrwegen
N. Zeike1. C. Schäffel1. F. Spiller1.ETG-Kongress 2009, Direktantriebe in Produktionsmaschinen und Industrieanlagen - Generatoren und Antriebe in regenerativen Kraftwerken, 27. - 28. Oktober 2009, Düsseldorf1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Development of a digital SQUID magnetometer for widely varying fields in urban environment
T. Reich1.Oktober 2009, Technische Universität Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
2H-AlGaN/GaN HEMTs on 3C-SiC(111)/Si(111) substrates
K. Tonisch1. W. Jatal1. R. Granzner2. M. Kittler2. U. Baumann3. F. Schwierz2. J. Pezoldt1.13. Internationale ICSCRM, 11. - 16. Oktober 2009, Nürnberg1FG Festkörperelektronik, Institut für Mikro- und Nanotechnologien. 2FG Festkörperelektronik, Institut für Mikro- und Nanotechnologien. 3Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH.Fachartikel -
An interferometric test station for massive parallel inspection of MEMS and MOEMS
M. Kujawinska2. K. Gastinger1. M. Jozwik2. K. Haugholt1. C. Schäffel3. S. Beer4.PHOTONICS LETTERS OF POLAND, VOL. 1 (2), (2009)1SINTEF, Norway. 2Warsaw Univ. of Technology, Poland. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 4Ctr. Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA, Switzerland.Fachartikel -
Wireless Sensornetzwerke mit Multisensorik in der Gebäudeautomation
S. Engelhardt1. E. Chervakova1. T. Rossbach1.WirelessTechnologies Kongress 2009, 29.-30. September 2009, Stuttgart, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
Wireless Sensornetzwerke mit Multisensorik in der Gebäudeautomation
S. Engelhardt1. E. Chervakova1. T. Rossbach1.WirelessTechnologies Kongress 2009, 29.-30. September 2009, Stuttgart, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
An interferometric test station for massive parallel inspection of passive and active M(O)EMS
M. Kujawinska2. K. Gastinger1. M. Jozwik2. K. Haugholt1. C. Schäffel3. S. Beer4.3rd Topical Meeting on Optical Microsystems, 27-30.09.2009, Capri1SINTEF, Norway. 2Warsaw Univ. of Technology, Poland. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 4Ctr. Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA, Switzerland.Vortrag -
Analogwertspeicherung mit Floating-Gates - Speicherzellen und Anwendung
D. Kirsten1.37. Mikroelektronik-Seminar, 24.09.2009, Erfurt1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Basic Design Challenges for Logical Gates Using Non-Standard Technologies or Circuit Concept Approaches
A. Amar1. W. Glauert2.3. GMM/GI/ITG-Fachtagung 'Zuverlässigkeit und Entwurf', Stuttgart, 21.-23.09.20091IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Uni Erlangen-Nürnberg, Lehrstuhl für Zuverlässige Schaltungen uns Systeme.Fachartikel