Aktuelle Publikation
First results of an interferometric controlled planar positioning system for 100 mm with zerodur slider
S. Hesse1.
H.-J. Büchner2.
Prof. Dr. G. Jäger2.
Dr. Ch. Schäffel1.
H.-U. Mohr1.
B. Leistritz1.
10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.-04.06.2010, Delft, Niederlande
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau, Ilmenau, Germany.
Posterpräsentation